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                  技術(shù)文章

                  高溫爐操作規(guī)程

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                  高溫爐操作規(guī)程
                  1 準備工作
                  a,檢查電源線接觸是否良好
                  b,檢查連接線是否正常
                  c,檢查冷卻水是否正常
                  d,檢查密封性是否正常
                  e, 準備所需工具:無塵紙、無水酒、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
                  2 開爐
                  a,打開主電源開關(guān)
                  b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
                  c, 將輸送車開關(guān)打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,取出 。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).
                  d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
                  3裝料
                  a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
                  b、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會到初始位置。
                  c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門
                  4 高溫爐抽氣
                  a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封
                  b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關(guān) P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,
                  c、當壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
                  加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
                  冷卻
                  a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進行冷卻;

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